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什么是質(zhì)量流量計?什么是質(zhì)量流量控制器?
質(zhì)量
流量計
,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種精確測量氣體流量的
儀表
,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補償。
質(zhì)量流量
控制器
, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量
流量計
的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量
控制器
就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
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