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怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說,在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內(nèi)計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會制定的SEMI國際標準。

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