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怎樣進行不同氣體的質(zhì)量流量換算?
產(chǎn)品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體,當流量檢測值相同時,實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體(氮氣)的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
如果您使用的產(chǎn)品是標準出廠產(chǎn)品(按氮氣標定顯示),而需要知道實際使用氣體的質(zhì)量流量時,先在產(chǎn)品說明書中找到實際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測量過程中,以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質(zhì)量流量;反之,在確定所購產(chǎn)品的量程時,以實際使用氣體的最大期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù),即是相應的氮氣標定產(chǎn)品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標定顯示的產(chǎn)品,不必換算。