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                質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

                質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于最低值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于最高值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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