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                質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
                質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 第一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 第二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  第三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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